Обзор электронных микроскопов
Описание:
Номер в архиве: 2100
1. Принцип действия электронного микроскопа 5
2. Современные электронные микроскопы 12
Заключение 16
Список использованных источников 17
Это связано с тем, что традиционные технологии подходят к своей физической границе и не обеспечивают решения новейших научных и технических проблем, внедряются новые технологии.
В 2011. Компания Intel первая ввела 22 нм технологический процесс Ivy Вridge (22 нм - разрешение, для изготовления затвора использовано гафний). Активно внедряются технологии MEMS (Micro Electro Mechanical Systems - микроэлектромеханические системы), которые в свою очередь используют адаптированные технологические циклы - Bulk Micro machining (объемная микрообработка), Surface Micromachining (поверхностная микрообработка), LIGA (Lithographie, Galvanoformung, Abformung - литография, гальванотехника, прессование / формирование). Все эти технологии требуют соответствующих средств контроля и измерения. Таким образом, одним из основных факторов дальнейшего успешного развития технологий становится опережающее развитие их метрологического обеспечения, в первую очередь, обеспечение единства линейных измерений в нанодиапазоне и смежных диапазонах.
На практике измерения в нанометровом диапазоне проводятся наноскопами - компьютеризированными измерительными системами, размещенными у потребителя, и требуют проведения предварительной калибровки. Микроскопы нельзя транспортировать и необходимо калибровать на рабочем месте.
Итак, актуальной задачей измерений линейных размеров материального объекта является обеспечение точности и прослеживаемости. В контексте выполнения этой задачи в данной работе проведен обзор и анализ современных средств электронной микроскопии, состояния их метрологического обеспечение и обоснование электронных микроскопов как средства измерения линейных размеров наноразмерных объектов.
Содержание
Введение 31. Принцип действия электронного микроскопа 5
2. Современные электронные микроскопы 12
Заключение 16
Список использованных источников 17
Введение
Совокупный объем мирового рынка средств микроскопии исчисляется десятками миллиардов рублей и по прогнозам будет ежегодный рост CAGR ≈ 10%. Рынок условно разделен на три сегмента: оптические микроскопы (> 30%), сканирующие зондовые микроскопы (<20%) и микроскопы, которые облучают образец заряженными частицами (> 50%). Доля рынка соответствующая микроскопам, работающих в нанометровом диапазоне (наноскопам), в каждом сегменте по прогнозам будет расти примерно на 20% ежегодно.Это связано с тем, что традиционные технологии подходят к своей физической границе и не обеспечивают решения новейших научных и технических проблем, внедряются новые технологии.
В 2011. Компания Intel первая ввела 22 нм технологический процесс Ivy Вridge (22 нм - разрешение, для изготовления затвора использовано гафний). Активно внедряются технологии MEMS (Micro Electro Mechanical Systems - микроэлектромеханические системы), которые в свою очередь используют адаптированные технологические циклы - Bulk Micro machining (объемная микрообработка), Surface Micromachining (поверхностная микрообработка), LIGA (Lithographie, Galvanoformung, Abformung - литография, гальванотехника, прессование / формирование). Все эти технологии требуют соответствующих средств контроля и измерения. Таким образом, одним из основных факторов дальнейшего успешного развития технологий становится опережающее развитие их метрологического обеспечения, в первую очередь, обеспечение единства линейных измерений в нанодиапазоне и смежных диапазонах.
На практике измерения в нанометровом диапазоне проводятся наноскопами - компьютеризированными измерительными системами, размещенными у потребителя, и требуют проведения предварительной калибровки. Микроскопы нельзя транспортировать и необходимо калибровать на рабочем месте.
Итак, актуальной задачей измерений линейных размеров материального объекта является обеспечение точности и прослеживаемости. В контексте выполнения этой задачи в данной работе проведен обзор и анализ современных средств электронной микроскопии, состояния их метрологического обеспечение и обоснование электронных микроскопов как средства измерения линейных размеров наноразмерных объектов.